电子工业用气体硅烷检测

电子工业用气体硅烷检测：电子领域检测服务，常见项目21项，包括乙硅烷含量、杂质总含量等，依据GB/T 28726-2012等公开标准执行。

检测项目

化学性能

• 乙硅烷含量
• 杂质总含量
• 四氯化硅含量
• 烃（C 2 ～C 4）含量
• 硅烷纯度
• 重金属含量
• 四氯氢硅含量
• 氧（氩）含量
• 一氧化碳含量
• 二氧化碳含量
• 氢含量
• 甲烷含量
• 氮含量
• 水含量
• 烃（C2~C4）含量
• 重金属及其他元素
• （氧+氩）含量
• 氯硅烷二氯二氢硅
• 三氯氢硅
• 颗粒
• 金属

检测范围

检测范围覆盖电子领域常见产品类型；样品数量、状态与预处理要求按所引标准执行。

检测方法

电感耦合等离子体发射光谱法（ICP-OES）：同时测定多种金属元素含量

滴定分析法：用于钙、镁等常量元素的容量法测定

化学分析法/仪器分析法：按目标组分选择滴定、光谱或色谱手段进行定量

检测仪器

• 电感耦合等离子体发射光谱仪
• 自动电位滴定仪
• 分析天平
• 紫外-可见分光光度计
• 滴定仪

检测标准

常用标准与依据如下，所引标准如遇更新、替代或废止，以现行有效版本为准：

GB/T 28726-2012《气体分析 氦离子化气相色谱法》

GB/T 15909-2017《电子工业用气体 硅烷》

检测说明

本页内容依据公开发布标准与公开资料整理，所引标准以现行有效版本为准。