电子工业用气体 六氟化硫检测

电子工业用气体六氟化硫（SF₆）的检测依据国家标准GB/T 12022-2015《工业六氟化硫》

检测项目

• 六氟化硫纯度
• 水分含量
• 酸度
• 空气含量
• 四氟化碳含量
• 八氟丙烷含量
• 可水解氟化物
• 矿物油含量
• 毒性分解物
• 颗粒物浓度
• 密度
• 蒸气压
• 气体组分分析
• 电导率
• 露点
• 气体泄漏率
• 介电强度
• 气体溶解性
• 腐蚀性物质含量
• 沸点
• 气味检测
• 氧含量
• 氮含量
• 二氧化碳含量
• 总杂质含量
• 临界温度

检测范围

• 高纯六氟化硫
• 电子级六氟化硫
• 电力工业用六氟化硫
• 半导体制造用六氟化硫
• 液晶面板加工气体
• 光纤制造气体
• 气体绝缘设备填充气
• 激光气体混合物
• 蚀刻工艺气体
• 制冷剂用六氟化硫
• 标准气体制备
• 医用气体混合物
• 超纯气体包装
• 工业废气回收气体
• 实验室校准气体
• 特种气体储罐填充气
• 航天电子材料处理气体
• 纳米材料合成气体
• 气体传感器测试气
• 环境监测用标准气体

检测方法

气相色谱法（GC）

用于分离和定量气体中不同组分。

红外光谱法（IR）

检测气体中特定官能团及杂质化合物。

质谱分析法（MS）

精确测试气体分子量及痕量杂质。

电化学传感器法

实时监测气体中氧气或其他活性成分。

露点仪法

测试气体中水分含量及露点温度。

库仑法

定量分析微量水分及酸性物质。

重量法

通过吸附剂增重测试颗粒物含量。

比色法

检测可水解氟化物的显色反应。

原子吸收光谱法（AAS）：分析金属杂质离子浓度。

离子色谱法（IC）：测试阴离子及酸根含量。

击穿电压测试法：评估气体介电强度性能。

激光散射颗粒计数法

统计气体中颗粒物数量与粒径分布。

紫外可见分光光度法（UV-Vis）：检测特定波长吸收的杂质。

热导检测法（TCD）

基于气体热导率差异分析组分。

动态顶空进样法

富集痕量挥发性杂质并进行分析。

检测仪器

• 气相色谱仪
• 红外光谱仪
• 质谱仪
• 露点仪
• 电化学分析仪
• 库仑水分测试仪
• 颗粒计数器
• 紫外可见分光光度计
• 原子吸收光谱仪
• 离子色谱仪
• 介电强度测试仪
• 热导检测器
• 动态顶空进样器
• 高精度天平
• 气体泄漏检测仪
• 激光粒度分析仪
• 气体纯度分析仪
• 真空吸附装置
• 恒温恒湿箱
• 气体采样钢瓶

检测标准

GB/T 28726-2012《气体分析 氦离子化气相色谱法》

GB/T 18867-2014《电子工业用气体六氟化硫 4.3》

GB/T 12022-2014《酸度（以HF计）》（4.5）

GB/T 5832.3-2011《微量水分的测定 第三部分：光腔衰荡法》

GB/T 5832.2-2016《气体中微量水分的测定 第2部分：露点法 4.4》

GB/T 26570.1-2011《气体中颗粒含量的测定 光散射法 第1部分：管道气体中颗粒含量的测定 4-8》

检测说明

本页内容依据公开发布标准与公开资料整理，所引标准以现行有效版本为准。