电子级氢氟酸检测

电子级氢氟酸的检测主要依据国家标准GB/T 2306-2018《电子工业用氢氟酸》

检测项目

• 氢氟酸浓度
• 总酸度
• 铁离子含量
• 铜离子含量
• 镍离子含量
• 锌离子含量
• 钙离子含量
• 镁离子含量
• 钠离子含量
• 钾离子含量
• 铅离子含量
• 砷离子含量
• 氯离子含量
• 硫酸根离子含量
• 硝酸根离子含量
• 磷酸根离子含量
• 不挥发物含量
• 灼烧残渣
• 水分含量
• 颗粒物数量
• 密度
• pH值
• 色度
• 电导率
• 重金属总量
• 有机杂质残留量
• 二氧化硅含量
• 悬浮物含量
• 透明度
• 包装密封性

检测范围

• UP-SSS级氢氟酸
• UP-SS级氢氟酸
• UP级氢氟酸
• EL级氢氟酸
• 光伏级氢氟酸
• 半导体级氢氟酸
• 液晶级氢氟酸
• 蚀刻用氢氟酸
• 清洗用氢氟酸
• 分析纯氢氟酸
• 电子纯氢氟酸
• 高纯氢氟酸
• 超纯氢氟酸
• 低金属离子氢氟酸
• 低颗粒氢氟酸
• 低水分氢氟酸
• 稀释型氢氟酸
• 浓缩型氢氟酸
• 桶装氢氟酸
• 槽车氢氟酸
• IBC吨桶氢氟酸
• 瓶装氢氟酸
• 定制配比氢氟酸
• 再生氢氟酸
• 刻蚀液回收氢氟酸
• 混酸体系氢氟酸

检测方法

• 滴定法测试氢氟酸浓度
• 通过氢氧化钠标准溶液中和反应计算含量

电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)检测金属杂质含量，灵敏度达ppt级。

• 激光粒度分析法测试颗粒物数量及粒径分布
• 符合SEMI标准

• 卡尔费休库仑法精确测试微量水分
• 检测限低于0.001%

• 重量法测试不挥发物
• 通过蒸发残留物称量计算含量

• 离子色谱法(IC)分析阴离子杂质如氯离子
• 硫酸根等

• 紫外可见分光光度法测试特定金属离子含量
• 配备掩蔽剂消除干扰

• 原子吸收光谱法(AAS)检测重金属元素
• 采用石墨炉提升灵敏度

X射线荧光光谱法(XRF)快速筛查多元素含量，无需复杂前处理。

电感耦合等离子体发射光谱(ICP-OES)多元素同时检测，效率高。

• 浊度法测试悬浮物含量
• 通过散射光强度定量分析

• 密度计法测试溶液密度
• 恒温水浴控制温度至±0.1℃

• pH计法测试氢离子浓度
• 采用耐氢氟酸专用电极

• 灼烧残渣重量法测试无机杂质总量
• 马弗炉温度控制850℃±25℃

• 扫描电镜(SEM)观测颗粒形貌
• 配合能谱仪(EDS)进行成分分析

检测仪器

• 电感耦合等离子体质谱仪
• 激光粒度分析仪
• 卡尔费休水分测试仪
• 离子色谱仪
• 紫外可见分光光度计
• 原子吸收光谱仪
• X射线荧光光谱仪
• 电感耦合等离子体发射光谱仪
• 电子天平
• 恒温干燥箱
• 马弗炉
• 密度计
• 精密pH计
• 扫描电子显微镜
• 气相色谱质谱联用仪

检测标准

GB/T 31369-2015《氢氟酸含量》（5.3）

检测说明

本页内容依据公开发布标准与公开资料整理，所引标准以现行有效版本为准。